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中國深圳 CSL 公司為電漿 / 濺鍍製程的電源供應器領域的供應商,旗下有CSL及CERES兩個品牌的產品,目前主要服務的客戶主要是半導體、航太、再生能源等領域。

俊尚科技銷售 CSL 旗下的DC電源供應器、RF 電源供應器、自動匹配器及客製化電源方案。

  • 以DC電源供應器來說,標準產品可提供的功率有500W、1000W、1500W、2000W。
  • 以RF電源供應器來說,標準產品可提供的頻率有2MHz、4MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz,輸出功率的選項為 300W ~ 5000W,功率精度可達+/-0.2%。

CROWN RF Power Generators

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CROWN系列射頻電源供應器具備多種機種可供選擇,簡易的操作介面、多樣的通訊介面,可滿足各式真空濺鍍或真空電漿製程的應用需求。以下是CROWN系列射頻電源供應器的特色:

  • 規格齊備:多種頻率(2、4、13.56、27.12、40.68MHz),不同功率(300~5000W)可供用戶選擇。
  • 優異性能:具備E型開關模式設計,能有效降低能源耗用量、延長設備使用壽命。
  • 精確穩定:可提供製程所需的穩定功率,功率精度可達設定值的+/-0.2%或全功率的+/-0.5%

 

COMPASS Digital Matching Network

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Compass系列數位式匹配器具備多樣機種可供選擇,可靠且快速的匹配速度、廣泛且彈性的阻抗批配範圍以及簡易的操作介面,可滿足您在真空濺鍍或真空電漿等製程的應用需求。以下是COMPASS系列數位匹配器的特色: 

  • 高效匹配:透過演算法有效降低反射功率,最快可於3秒內完成匹配。
  • 匹配範圍:採用L型匹配網路並具備27種電感線圈組合,提供用戶廣泛的匹配範圍。
  • 安全防護:用戶在CROWN電源供應器控制面板或遠端電腦前進行控制,杜絕暴露在射頻電磁波的機會。
  • 控制元件:採真空可變電容及感應線圈,提升製程穩定性,減少意外停機的機會。
  • DC Bias監測:內建DC Bias監測機制,用戶可在CROWN電源供應器面板或遠端電腦上監控DC Bias電壓。