在電子束蒸鍍系統中使用坩堝內襯（liner）時，可以降低坩堝座的冷卻效果，間接提高材料的蒸鍍速率；同時也因為坩堝座的槽數有限，為避免不同材料在替換時交叉污染，使用坩堝內襯也是一種解決辦法。以下為坩堝內襯之樣式、材質介紹及相關規格。