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HOPE-302 有機光電材料及元件結構驗證平台

俊尚科技所代理的HOPE-302熱蒸鍍設備,除了可沈積低溫小分子有機材料的薄膜,也可以沈積高溫金屬薄膜,透過掩板的使用更可製備高品質圖案化的薄膜,是有機光電相關研究的實驗利器。系統設計的重心是在如何有效提升研發開發階段時的效率,既可驗證材料特性,也可驗證不同膜堆設計下的光電效果。該款熱蒸鍍產品具備下列特色:

  • 以DOE為設計理念:以小尺寸試片為核心,給予客戶靈活控制每一塊試片實驗條件的彈性,讓客戶在每批測試中取得多組實驗結果。
  • 製程的再現性佳:試片、蒸發源、晶震傳感器乃至於腔體幾何等設計均經嚴謹模擬,並藉由實測確認測試條件具備再現性,性能穩定可靠。
  • 優異的速率控制:透過ARTC模式控制蒸發速率,蒸發速率穩定性可優於5%,是host-dopant摻雜製程必備的控制模式。
  • 好的批次再現性:Run-to-Run(以連續4輪為例)的膜厚飄動約莫在3%,是驗證不同批次間實驗條件差異性的必備性能。
  • 專利的蒸鍍模組:採用HOPE-08系列專利蒸鍍模組,可有效控制低溫有機材料在極低蒸鍍速率(<0.005A/sec)的穩定性,並可避免材料冷凝塞口。
  • 系統的擴充性高具備多樣周邊零配件可供擴充,並可與不同製程 / 分析設備接合。
HOPE-302 System

HOPE-302為整合式平台,系統特色包含:具備掩板 (Mask) 切換功能的基板載具,可與GB連結進行製程周邊功能的擴充,可搭載高效低溫蒸發源,以及獨家的ARTC沈積速率控制模式。以下是系統的基本規格:

  • 基材尺寸:掩板整合型基板載具
  • 蒸鍍源:最多可配置16組高/低溫蒸鍍源
  • 偵測器:標配8組QCM
  • 連結GB的擴充能力:有

初階及高階型R&D熱蒸鍍系統

CE-400 Thermal Evaporation System

CE-400 泛用型熱蒸鍍系統

本系統是泛用型熱蒸鍍系統,可蒸鍍高溫金屬材料及低溫有機材料,基板載具可依照客戶待鍍物尺寸規格開發,是款CP值高但性能不打折的機款。以下是系統的基本規格:

  • 基材尺寸:10cmx10cm 1片,可依照客戶需求配置
  • 蒸鍍源:最多可配置6組高/低溫蒸鍍源
  • 連結GB的擴充能力:無
OM-400 Thermal Evaporation System

OM-400 高階蒸鍍系統

高階款R&D型熱蒸鍍系統,可選購具備掩板 (Mask) 切換功能的基板載具製備複雜結構的光電元件,並可與GB連結進行製程周邊功能的擴充。以下是系統的基本規格:

  • 基材尺寸:標配10cmx10cm 1片
  • 蒸鍍源:最多可配置12組高/低溫蒸鍍源
  • 偵測器:標配1組QCM
  • 連結GB的擴充能力:有