俊尚科技所代理的HOPE-302熱蒸鍍（thermal evaporation）設備，除了可沈積低溫小分子有機材料的薄膜，也可以沈積高溫金屬薄膜，透過掩板的使用更可製備高品質圖案化的薄膜，是有機光電相關研究的實驗利器。系統設計的重心是在如何有效提升研發開發階段時的效率，既可驗證材料特性，也可驗證不同膜堆設計下的光電效果。該款熱蒸鍍產品具備下列特色：

• 以DOE為設計理念：以小尺寸試片為核心，給予客戶靈活控制每一塊試片實驗條件的彈性，讓客戶在每批測試中取得多組實驗結果。
• 製程的再現性佳：試片、蒸發源、晶震傳感器乃至於腔體幾何等設計均經嚴謹模擬，並藉由實測確認測試條件具備再現性，性能穩定可靠。
• 優異的速率控制：透過ARTC模式控制蒸發速率，蒸發速率穩定性可優於5%，是host-dopant摻雜製程必備的控制模式。
• 好的批次再現性：Run-to-Run（以連續4輪為例）的膜厚飄動約莫在3%，是驗證不同批次間實驗條件差異性的必備性能。
• 專利的蒸鍍模組：採用HOPE-08系列專利蒸鍍模組，可有效控制低溫有機材料在極低蒸鍍速率（<0.005A/sec）的穩定性，並可避免材料冷凝塞口。
• 系統的擴充性高：具備多樣周邊零配件可供擴充，並可與不同製程 / 分析設備接合。

HOPE-302為整合式平台，系統特色包含：具備掩板 (Mask) 切換功能的基板載具，可與GB連結進行製程周邊功能的擴充，可搭載高效低溫蒸發源，以及獨家的ARTC沈積速率控制模式。以下是系統的基本規格：

• 基材尺寸：掩板整合型基板載具
• 蒸鍍源：最多可配置16組高/低溫蒸鍍源
• 偵測器：標配8組QCM
• 連結GB的擴充能力：有

CE-400 泛用型熱蒸鍍系統

本系統是泛用型熱蒸鍍系統，可蒸鍍高溫金屬材料及低溫有機材料，基板載具可依照客戶待鍍物尺寸規格開發，是款CP值高但性能不打折的機款。以下是系統的基本規格：

• 基材尺寸：10cmx10cm 1片，可依照客戶需求配置
• 蒸鍍源：最多可配置6組高/低溫蒸鍍源
• 連結GB的擴充能力：無

TEC-400 高階蒸鍍系統

高階款R&D型熱蒸鍍系統，可選購具備掩板 (Mask) 切換功能的基板載具製備複雜結構的光電元件，並可與GB連結進行製程周邊功能的擴充。以下是系統的基本規格：

• 基材尺寸：標配10cmx10cm 1片
• 蒸鍍源：最多可配置12組高/低溫蒸鍍源
• 偵測器：標配1組QCM
• 連結GB的擴充能力：有