來自美國的SVTA自1993便投身於超高真空分子束磊晶與各式薄膜沈積技術，並創建前瞻材料實驗室積極與NASA等知名機構合作、厚植技術實力，這讓SVTA成為半導體技術研發的領航者。

SVTA的SMART是一超高真空（UHV）的系統框架，可彈性搭配不同的PVD模組來進行各式鍍膜研究，可搭配的鍍膜技術有脈衝雷射分子束磊晶（PLD）、電子束蒸鍍（E-beam Evaporation）、熱阻式蒸鍍（Thermal Resistive Evaporation）或是磁控濺鍍（Magnetron Sputtering），系統亦可搭載離子源進行蝕刻、RF電漿源進行氧化物或氮化物材料的研究，是非常具備彈性的UHV薄膜研究設備。

SMART Framework with
Pulsed Laser Module for PLD

SMART Framework with
E-beam Source for Evaporation Deposition

Wide selection of sources to optimize your application:

• High Stability Effusion Cells
• Multi-Pocket Electron Beam Evaporator
• Magnetron Sputtering Sources
• Three Material Boat Evaporator
• RF-Plasma Source
• Pulsed Laser Deposition
• Ion Sources for Etching and IBAD Processes

UHV Compatible Sample Manipulators

• Sample size up to 3 inch diameter
• Sample heating up to 800 °C
• Sample rotation speeds up to 30rpm.
• Sample biasing is available upon request.