Image

俊尚科技代理並經銷多款大廠的石英震盪式膜厚監控器(Quartz Crystal Thickness Monitor),產品包含石英晶片、感測頭(sensor head)、膜厚監視 / 控制器一應俱全,可滿足客戶對於即時膜厚量測的所有需求。各款膜厚監視器或膜厚控制器的相關資訊如下:                                                                                                                                                                                                                                                                                                               

XTC/3S 膜厚監控系統

Image

The XTC/3S quartz crystal deposition controller provides a single layer closed-loop controller. This controller is intended for those applications where the process recipe resides on the customer's computer and each layer of the process is downloaded into the thin film controller as needed.

Features

  • PLUG-AND-PLAY replacement for XTC/2 controllers*
  • TFT color LCD with graphics
  • Membrane keypad
  • 9 programmable films
  • 2 sensor measurement channels
  • 2 source control channels
  • 8/12 dedicated I/O Circuitry
  • RS-232 computer communications
  • Interface connectors
  • Patented Modelock Measurement System

Eon-LT 膜厚監視系統

Image

Eon ID 內建微型電腦並結合了觸控式螢幕,控制軟體具備迥異於傳統控制器多層選單的作法,代之以扁平化的控制介面讓膜厚計參數及蒸發速率控制參數皆可透過觸控螢幕輸入到 Eon ID 中執行,非常容易上手使用。若您有自動控制蒸發速率的需求,Eon ID 會是相當理想的工具。Eon ID 的具特色總結如下:

  • 可直接在觸控面板上監視並控制製程
  • 具備RS-232通訊面,另外可透過 USB 和 WiFi 和電腦連線作業
  • 本體可安裝於一般標準機架
  • 可搭配雙感測頭器(dual sensor head)使用

Eon-ID 膜厚監視/膜厚控制系統

Image

Eon ID 內建微型電腦並結合了觸控式螢幕,控制軟體具備迥異於傳統控制器多層選單的作法,代之以扁平化的控制介面讓膜厚計參數及蒸發速率控制參數皆可透過觸控螢幕輸入到 Eon ID 中執行,非常容易上手使用。若您有自動控制蒸發速率的需求,Eon ID 會是相當理想的工具。Eon ID 的具特色總結如下:

  • 可直接在觸控面板上監視並控制製程
  • 具備RS-232通訊面,另外可透過 USB 和 WiFi 和電腦連線作業
  • 本體可安裝於一般標準機架
  • 可搭配雙感測頭器(dual sensor head)使用