質流控制器一般簡稱 MFC(Mass Flow Controller)。它是一種流量計與控制閥的精密機電組合,與一般流量計最大的差別在於它是利用熱感溫差、非接觸的方式測量氣體的質量流速,不同於一般量測體積流速的方法,能夠避免環境壓力與氣體體積的影響,因此非常適合用在需要動態地控制氣體流量的精密應用中,如:電漿清潔、電漿蝕刻、PECVD、濺鍍等。俊尚科技提供您各款質流控制器,產品資料請參考下列內容。
Model Number: EL-FLOW
- Power Supply: 15 / 24 Vdc
- Accuracy: ±0.5% ~ +/-2%, depending on models
- Repeatability: <0.2% Rd
- Pressure Sensitivity: 0.1% / bar typical N2
Model Number: 5850E
- Power Supply: 15 Vdc
- Accuracy: ±1% ~ +/-1.5%, full scale
- Repeatability: 0.25% of rate
- Temp. Sensitivity: <+/-0.075% F.S. per degree C
Model Number: PC-150/PC-540
- PC-510(1 channel)
- PC-540(4 channel)