質流控制器一般簡稱 MFC(Mass Flow Controller)。它是一種流量計與控制閥的精密機電組合,與一般流量計最大的差別在於它是利用熱感溫差、非接觸的方式測量氣體的質量流速,不同於一般量測體積流速的方法,能夠避免環境壓力與氣體體積的影響,因此非常適合用在需要動態地控制氣體流量的精密應用中,如:電漿清潔、電漿蝕刻、PECVD、濺鍍等。俊尚科技提供您各款質流控制器,產品資料請參考下列內容。

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Model Number: EL-FLOW 

  • Power Supply: 15 / 24 Vdc
  • Accuracy: ±0.5% ~ +/-2%, depending on models 
  • Repeatability: <0.2% Rd
  • Pressure Sensitivity: 0.1% / bar typical N2
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Model Number: 5850E

  • Power Supply: 15 Vdc
  • Accuracy: ±1% ~ +/-1.5%, full scale
  • Repeatability: 0.25% of rate
  • Temp. Sensitivity: <+/-0.075% F.S. per degree C
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Model Number: PC-150/PC-540

  • PC-510(1 channel)
  • PC-540(4 channel)