在電子束蒸鍍系統中使用坩堝內襯(liner)時,可以降低坩堝座的冷卻效果,間接提高材料的蒸鍍速率;同時也因為坩堝座的槽數有限,為避免不同材料在替換時交叉污染,使用坩堝內襯也是一種解決辦法。以下為坩堝內襯之樣式、材質介紹及相關規格。
內襯材質 | 使用說明 | |
Molybdenum | 鉬是一種高強度的坩堝內襯材質,由整支鉬棒加工而成,是一種最通用的內襯材料,但使用者必須注意材料特性,有可能會與鉬產生合金情形。 | |
Tungsten Lanthanated | 鎢(含微量鑭元素)的適用性跟鉬一樣,只是鎢的熔點高於鉬,同時鑭也有助於提高內襯抗龜裂的效果。 | |
Graphite | 此內襯乃由石墨棒加工而成,金、銀、銅等材料不會與石墨產生反應,也易於內襯中移除。 |
Specifications | Liner Materials | |
7cc. Insert |
|
|
15cc. Insert |
|
|
25cc. Insert |
|
|
25cc. Insert (tall) |
|
|
40cc. Insert |
|