在電子束蒸鍍系統中使用坩堝內襯（liner）時，可以降低坩堝座的冷卻效果，間接提高材料的蒸鍍速率；同時也因為坩堝座的槽數有限，為避免不同材料在替換時交叉污染，使用坩堝內襯也是一種解決辦法。以下為坩堝內襯之樣式、材質介紹及相關規格。
| 內襯材質 | 使用說明 | |
|---|---|---|
| Molybdenum | 鉬是一種高強度的坩堝內襯材質，由整支鉬棒加工而成，是一種最通用的內襯材料，但使用者必須注意材料特性，有可能會與鉬產生合金情形。 | |
| Tungsten Lanthanated | 鎢(含微量鑭元素)的適用性跟鉬一樣，只是鎢的熔點高於鉬，同時鑭也有助於提高內襯抗龜裂的效果。 | |
| Graphite | 此內襯乃由石墨棒加工而成，金、銀、銅等材料不會與石墨產生反應，也易於內襯中移除。 |
| Specifications | Liner Materials |
|---|---|
| 7cc. Insert | Tungsten Lanthanated Molybdenum Graphite |
| 15cc. Insert | Tungsten Lanthanated Molybdenum Graphite |
| 25cc. Insert | Tungsten Lanthanated Molybdenum Graphite |
| 25cc. Insert （tall） | Tungsten Lanthanated (for 6x25-cc) Molybdenum (for 6x25-cc) Graphite (for 6x25-cc) |
| 40cc. Insert | Tungsten Lanthanated Molybdenum Graphite |