俊尚科技代理 SVT Associate SMART 脈衝雷射鍍膜系統，以高功率脈衝雷射轟擊待鍍材料使材料氣化出來的原子沈積在基板上。SMART 系統可以配置 6 個 1 英寸直徑的靶（或 4 個 2 英寸直徑的靶），每個靶材都有各自的旋轉軸，可以獨立旋轉，並且可以和雷射掃描同步作業，使靶材得以均勻被雷射掃描 / 轟擊，在靈活運用下 SMART 系統可以在單一真空系統中製備出複合材料之多層結構薄膜。PLD 技術已知可應用在多成分氧化物（Multiple Component Oxides）、高溫超導體、磁性和金屬材料鍍膜、低蒸汽壓力材料、MEMS等不同領域。SMART系統的產品資訊如下：
SMART 系統規格
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Deposition Sources |
Target Stage, Six 1" (25 mm) Targets with Indexing
Rotation
z-Direction Translation
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| Deposition Stage |
1" (25.4 mm) Sample Size
Heating to 800°C
Continuous Rotation
z-Direction Translation |
| In-Situ Process Monitoring Tools |
Quartz Crystal Deposition Rate Monitor |
選購項目
- 與準分子雷射結合
- 雷射掃描裝置
- 升級為超高真空系統
- 高壓氧鍍膜裝置
- 高溫鍍膜套組
- 進樣腔體
- 額外的蒸發源（Thermal Evaporation Sources、Effusion Cells、Sputter Sources、E-Beam Evaporators、RF Plasma Sources）
- RHEED和RHEED圖像分析軟體
- 鍍膜速率監測器
- 可以結合表面分析設備
