低真空：機械油封式幫浦
機械油封式幫浦屬於排氣式幫浦（Gas Transfer Pump），是透過機械機構（轉子與靜子）來壓縮系統容積內的氣體、密封隔絕、傳輸、排出，工作壓力範圍約莫介於大氣到10-4 Torr。由於幫浦運作過程中需要潤滑油來減少機構間的摩擦、減緩機構運作過程中所產生的熱，長期使用下來難免會有油氣回流、污染系統的顧慮，因此適用於真空潔淨度不嚴苛的粗抽使用。依據不同的幫浦排氣量，我們推薦下列機械油封式幫浦供您選用：
| Pumping Speed | Ultimate Pressure | Recommended Models |
|---|
| <100（L/min） |
≌3X10-3 Torr |
- Duo3 / Duo6
- RV3 / RV5
- GLD-040 / GLD-051X
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| 100～250（L/min） |
≌3X10-3 Torr |
- Duo11
- RV8
- GLD-136 / GLD-136X
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| 250～330（L/min） |
≌3X10-3 Torr |
- PZ-16
- RV12
- GLD-201 / GLD-208 / VDN151
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| 330～400（L/min） |
≌3X10-3 Torr |
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| 400～600（L/min） |
≌3X10-3 Torr |
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| 600～1000（L/min） |
≌3X10-3 Torr |
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| 1000～2000（L/min） |
≌3X10-3 Torr |
- PZ65
- E2M80
- VDN601 / VDN901
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| 2000～4000（L/min） |
≌3X10-3 Torr |
- E2M175
- Duo125
- VSN1501 / VSN2401
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| >4000（L/min） |
≌3X10-3 Torr |
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低真空：乾式幫浦
渦卷式幫浦透過轉子運動所掃過的行程，發揮進氣、壓縮與排氣等一系列動作，其工作壓力範圍約莫介於大氣到10-2 Torr。由於運作機制沒有使用到潤滑油，因此使用上不需要擔心有油氣回流或是抽除之氣體會與幫浦油結合產生微粒，所以非常適用於重視排除微粒及真空潔淨度高的粗抽應用上。依據不同的幫浦排氣量，我們推薦下列乾式幫浦供您選用：
| Pumping Speed | Ultimate Pressure | Recommended Models |
|---|
| <100（L/min） |
≌5X10-2 Torr |
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| 200～300（L/min） |
≌5X10-2 Torr |
- GWSP300
- ISP-250C
- nXDS10i / nXDS15i
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| 450～600（L/min） |
≌5X10-2 Torr |
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| 1000（L/min） |
≌5X10-2 Torr |
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高-超高真空：分子渦輪幫浦
對於需要高真空或超高真空之應用領域，諸如：表面分析、質譜分析、電子顯微鏡、高能物理或任何需要乾淨製程環境的工業製程場合，分子渦輪幫浦與冷凍真空幫浦可說是最佳之選擇，但分子渦輪幫浦擁有冷凍真空幫浦所沒有的優點：無需再生（regeneration），可連續使用。分子渦輪幫浦是利用高速移動的葉片將其動量傳遞給真空系統內之殘餘氣體分子，使氣體分子獲得額外動量朝特定方向移動、壓縮、排出系統，因此支撐高速機械機構轉動之軸承、葉片結構（影響氣體壓縮比）是在考量分子渦輪幫浦時需要考量的重點。若製程中需使用腐蝕性氣體，亦需特別注意這些製程氣體對葉片之影響。依據不同的幫浦排氣量，我們推薦下列分子渦輪幫浦供您選用：
| Pumping Speed | Ultimate Pressure | Recommended Models |
|---|
| <150（l/s） |
≌5X10-8 Torr |
- TG50F /TG60F /TG70F
- Turbovac50 / Turbovac151
- TurbovacSL80
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| 200～350（l/s） |
≌1X10-8 Torr |
- TG220F / TG240F
- TG350F / TG390M / TG420M
- SL300 / Turbovac 361/ TW250S
- MAG300 / MAGW400
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| 450～600（l/s） |
≌1X10-8 Torr |
- TG450F / TW501
- Turbovac 600C
- SL700 / MAGW600
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| 1000（l/s） |
≌1X10-8 Torr |
- TG900M / TG907M / TG1100F
- Turbovac 1000C / MAGW830
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| 1000～2000（l/s） |
≌1X10-8 Torr |
- TG1400F /MAGW1300
- TG1300M / TG1307M
- Turbovac T1600 / TW1600
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| >2000（l/s） |
≌1X10-8 Torr |
- TG2400F/ TG2410F
- TGkine2200M / TG2400M
- TW2401 / MAGW2000
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高-超高真空：冷凍幫浦
冷凍真空幫浦是利用超低溫物理中的冷凝（Cryocondensation）、吸附（Cryosorption）以及捕獲（cryotrapping）等三項機制來吸附真空腔體內的氣體，以達到抽氣的效果，是公認為最乾淨的真空抽氣技術之一，因此可應用在對真空潔淨度極為嚴苛的產業如半導體、平面顯示器、光電、薄膜、低溫冷凍、太陽能、材料冶金、生物科技及微奈米技術等。需注意的是冷凍幫浦不能無限制連續使用，需要定期進行再生作業（regeneration）、脫除幫浦內所吸附的氣體，方能確保抽氣性能。依據不同的幫浦排氣量，我們推薦下列冷凍幫浦供您選用：
| Pumping Speed （Water Vapor L/min） | Pumping Speed （Air L/min） | Recommended Models |
|---|
| <1500（l/s） |
<400（l/s） |
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| <2500（l/s） |
<700（l/s） |
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| <5000（l/s） |
<1500（l/s） |
- Cryo-U8H
- On Board 8/8F / Cryo-Torr8/8F
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| <10000（l/s） |
<2500（l/s） |
- Cryo-U10H / Cryo-U12H
- On Board 10/10F/ Cryo-Torr10
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| <20000（l/s） |
<5000（l/s） |
- Cryo-U16H
- Cryo-U20H
- On Board 400
- Cryo-Torr20HP
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