石英膜厚感測頭 QCM Sensor Heads
Colnatec 是美國專業石英晶震膜厚設備製造商，所提供的產品包含石英晶震式膜厚量測儀、石英震盪晶片以及石英膜厚感測頭等三大類。在此 Colnatec 提供 3 款感測頭供客戶選擇，針對不同之應用（量產或高溫）選擇最適合您需求的感測頭，感測頭產品說明如下：
- Phoenix：內建K型電熱偶，可量測石英晶片溫度，修正製程溫度對於石英晶片所造成的影響，適合高溫或需要精密量測即時膜厚的場合，例如：ALD、OLED等。
- Tempe：內建K型電熱偶與加熱器，可將感測頭加至最高500°C，藉由高溫蒸發掉石英晶片表面附著物，延長石英晶片的使用壽命。
- Infinity：最多可裝載12片石英晶片，非常適合量產使用。搭配 Colnatec RD晶片，Infinity可承受的製程溫度可到達200°C，特別適用在高溫環境下鍍高應力材料的場合。
| Spec | Phoenix | Tempe | Infinity |
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| Appearance |  |
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| Crystal Size | Dia. 14mm | Dia. 14mm | Dia. 14mm |
| Crystal Cartridge | 1 pc | 1 pc | 12 pc |
| Crystal Frquency | up to 10 MHz | up to 10 MHz | up to 10 MHz |
| Sensor Feedthrough |
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| Temperature Measurement |
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| Temperature Control |
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