脈衝直流電源供應器 Pulsed DC Power Generator

俊尚科技經銷多款知名廠牌的脈衝直流電源供應器。透過脈衝直流電源，可大幅改善傳統直流電漿在表面活化（activation）與金屬濺鍍應用上的缺點，並特別在磁控濺鍍的反應式鍍膜與偏壓的應用尤為突出。此類電源供應器多採固定脈衝電壓控制波形，能提供瞬間高電流、具備瞬間大能量輸出，可提昇濺鍍速率，改善薄膜密度。產品特色如下：

• 製程易於調整：可最佳實驗參數，得到最佳鍍膜結果。
• 獨特的電弧偵測設計：可辨識電弧的發生，並快速消除電弧，非常適合反應式濺鍍製程與偏壓的應用。
• 遠端控制通訊介面：除了RS232埠外，更加入擴充功能強大的Profibus介面，適用於多樣化與自動化的製程控制。