石英震盪式膜厚儀 QCM Thickness Monitor
美國 Conltaec 專精石英震盪式膜厚監控器（Quartz Crystal Thickness Monitor）相關產品的開發，產品包含石英晶片、感測頭（sensor head）、膜厚監視 / 控制器一應俱全，可滿足客戶對於即時膜厚量測的所有需求。Colnatec 膜厚監視/控制器最大的特色在於可量測膜厚感測頭的溫度：用來量測頻率變化的石英晶片往往會在鍍膜製程中受熱，而 AT 型石英晶片在超過 25°C 後頻率的變化呈非線性，因此會造成量測上的誤差。Colnatec 的各款膜厚監視器或膜厚控制器可透過感測頭（Colnatec Phoenix / Tempe）所量測到的溫度來修正溫度對於石英震盪頻率的影響，因此可以得到為精確的即時薄膜沈積速率。Colnatec 各款膜厚監視器或膜厚控制器的相關資訊如下：
Eon LT：膜厚監視器
Eon LT 本體不具備顯示資訊的功能，即時膜厚變化量、頻率變化量等相關資訊是透過與遠端電腦連結來呈現。從功能面來看，Eon LT 是專門為不需要做蒸發速率控制（rate control）的用戶所開發的機種，本款設備可提供最精確且即時的薄膜沈積速率。Eon LT 的特色如下：
- 具有溫度測量功能（需搭配特殊款式感測頭），可即時修正溫度對於晶片震盪頻率造成的誤差
- Eon™ 軟體，用戶可透過本軟體在遠端電腦監視真空腔體內正在進行的薄膜沈積製程，該軟體可呈現即時溫度、頻率變化、薄膜沈積速率和膜厚
- 具備控制訊號輸出，可支蒸發源援擋板的開/關動作
| Spec | Eon LT |
|---|---|
| Appearance |  |
| Frequency Resolution | 0.001 HZ @ 6 MHz (1 Sample per Second) |
| Sample Rate | 100 Hz to 10 Hz |
| Display Update Rate | 10 Hz - 1 Hz |
| Sensor Crystal Frequency | 6 MHz |
| Temperature | 2 sets of type-K TC |
| Sources | 2 sets of 0-5 VDC source controls |
| Relays (non-programmable) | 2 SPST NO for abort & thickness setpoint |
| Communication Protocol | Communication status Power-up status RS-232 |
