氦氣測漏儀 Helium Leak Detectors
氦氣（原子序為 2）是質量最小的氣體，具備可滲入微小間隙的能力，因此被用於真空設備或密封物件的測漏（leakage detection）。氦氣測漏儀顧名思義便是專門偵測氦氣分子的設備，當特別注入的氦氣自檢測中的真空設備或物件滲出而被氦氣測漏儀所檢知，便代表有滲漏現象，此一滲漏現象則以洩漏率（mbar·l/s）來表示。氦氣測漏儀的應用領域包含：
- 真空系統，真空管件測漏
- 鋰電池，燃料電池測漏
- 冷氣、冰箱冷凍管路測漏
- 各種元件或管路測漏
| Spec | HELIOT 900 | PHOENIX | ASM | PHD-4 |
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| Appearance |  |
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| Min. Detectable Leak Rage | < 5x10-12 mbar L/sec | < 5x10-12 mbar L/sec | < 5x10-12 mbar L/sec | < 5x10-6 mbar L/sec |
| Pumping Unit | Built-in | Built-in | Built-in | Built-in |
| Sniffer Mode | Optional | Optional | Optional | Standard |
| Resonsive Time | N/A | N/A | < 1 sec | < 2 sec |
| Initiation Time | < 2 min | N/A |
< 3.5 min (including calibration) |
3 min |
| Detecting Mass | Amu @ 2 & 4 | Amu @ 2, 3 & 4 | Amu @ 2, 3 & 4 | Amu @ 4 |