微波電漿源 Microwave Plasma Source
一般微波電漿的產生多使用915MHz或2.45GHz兩種頻率的微波電源，透過磁控管（Magnetron）產生微波源，並以導波管（Wave Guide）傳送特定震盪模式的微波，最後再透過石英視窗導入到真空腔體中產生電漿。傳統微波電漿系統的設計需優化均勻的氣體分佈及共振腔設計，才能產生大面積且均勻的高密度微波電漿。
新一代微波電漿源則採同軸電子迴旋（electron cyclotron resonance，ECR）設計，並搭配 solid-state 微波電源，可省卻掉傳統的磁控管及導波管，因此在硬體的架構更為精簡；此外，solid-state 微波電源可更精確地控制電源頻率，因此特別適用在需要穩定的精密製程中。近年來微波電漿技術廣泛用於薄膜沉積、表面科學、生醫及材料科學研究。俊尚提供下列各款微波電漿源供您選用：
