分子束磊晶系統 Molecular Beam Epitaxy (MBE)

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俊尚科技代理美國 SVT Associate 全系列分子束磊晶系統並提供完整的周邊配件,此外 SVT Associate 擁有專屬實驗室,可以提供客戶半導體、光電材料製程、氮製程或氧製程的專業諮詢。

我們所提供的分子束磊晶系統均採模組化設計,可因應客戶需求靈活配置。一般來說MBE系統至少配置兩個獨立的模組,一個用於長晶腔體,另一個則用於樣品取放或準備腔體,同時也可根據客戶需求增加 REED 之類的材料分析設備模組。以下是我們提供的各款分子束磊晶系統。