原子層鍍膜系統 Atomic Layer Deposition (ALD)

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俊尚科技代理美國 SVT Associate NorthStarTM原子沈積系統並提供完整的周邊配件,此外 SVT Associate 擁有專屬實驗室,可以提供客戶半導體、光電材料製程、氮製程或氧製程的專業諮詢。 NorthStar 系統可配 8 套前驅物模組和 1 個熱壁式反應腔體,另外可配合客戶需求配置進樣腔體,以維持反應腔體內的潔淨度並縮短作業時間。原子沈積技術具備絕佳的膜厚均勻性與階梯覆蓋性,可用於高 k 介電質研發、奈米鍍膜、表面修飾層、防腐蝕層、防潮層、元件封裝、MEMS、光子晶體等不同領域。以下是 SVT Associate NorthStarTM 原子沈積系統的相關資訊。