客製化手套箱整合平台 Custom-Designed Glovebox Platform

俊尚科技具備多年真空經驗與系統整合能力,可透過專業電腦輔助設計與3D建模,並配合客戶既有設備、製程 Cold Run / Hot Run 的流暢性及廠房空間提出通盤之完善設計,提供客戶高品質的整合型手套箱作業平台。我們提供的平台具備下列特色:

  • 平台可滿足生產 OLED 元件生產所需低水氧(H2O & O2 < 1.0ppm)與低揚塵(class 1000或更好)的操作環境。
  • 可依客戶流程所需進行設備整合與基板傳輸機構設計。
  • 各站可獨立運作,同時平台兼具安全互鎖機制(interlock),避免各站設備彼此影響,另也確保平台的環境品質與操作安全。

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