石英膜厚感測頭 QCM Sensor Heads

colnatec

 

Colnatec 是美國專業石英晶震膜厚設備製造商,所提供的產品包含石英晶震式膜厚量測儀、石英震盪晶片以及石英膜厚感測頭等三大類。在此 Colnatec 提供 3 款感測頭供客戶選擇,針對不同之應用(量產或高溫)選擇最適合您需求的感測頭,感測頭產品說明如下:

  • Phoenix:內建K型電熱偶,可量測石英晶片溫度,修正製程溫度對於石英晶片所造成的影響,適合高溫或需要精密量測即時膜厚的場合,例如:ALD、OLED等。
  • Tempe:內建K型電熱偶與加熱器,可將感測頭加至最高500°C,藉由高溫蒸發掉石英晶片表面附著物,延長石英晶片的使用壽命。
  • Infinity:最多可裝載12片石英晶片,非常適合量產使用。搭配 Colnatec RD晶片,Infinity可承受的製程溫度可到達200°C,特別適用在高溫環境下鍍高應力材料的場合。

 

SpecPhoenixTempeInfinity
Appearance phoenix tempe infinity3
Crystal Size Dia. 14mm Dia. 14mm Dia. 14mm
Crystal Cartridge 1 pc 1 pc 12 pc
Crystal Frquency up to 10 MHz up to 10 MHz up to 10 MHz
Sensor Feedthrough
  • CF-2.75
  • KF-40
  • Custom options available
  • CF-2.75
  • KF-40
  • Custom options available
  • CF-2.75
  • Custom options available
Temperature Measurement
  • Thermocouple: K-type embeded
  • Resolution: +/- 0.1°C
  • Thermocouple: K-type embeded
  • Resolution: +/- 0.1°C
  • No
Temperature Control
  • Not heatable
  • Temperature monitoring only
  • Heating Range: 50 ~ 500°C
  • Temperature Stability: +/- 1°C
  • Not heatable