真空計 Vacuum Gauges

307 真空計是量測真空系統內部壓力(真空度)的設備,其量測精準度對於光電、半導體等精密製程極為重要。俊尚科技代理之 MKS Granville-Phillips® 真空計深獲業界認可,全系理產品包含 Granville-Phillips® 各款真空感測頭與真空控制器,可滿足客戶的各種要求。以下將以不同真空度為區隔,依序介紹相關產品。