殘餘氣體分析儀 Residual Gas Analyzers

rga GP1 rga SRS1 rga SRS2

RGA是透過燈絲產生熱電子游離真空系統內的殘餘氣體分子並使之離子化,接著透過四級質譜管(Quadrupole)或離子阱(Ion Trap)等質量分析器,來進一步篩選出具備特定荷質比(m / z)的氣體分子,並將偵測訊號透過電子訊號放大器(electron multiplier)到儀控電腦進行監測。RGA 是學界與業界用來了解系統真空各類狀況的主要工具,廣泛應用於真空系統測漏、真空腔體內殘氣比例分析、製程氣體分析、熱脫附(thermal desorption)等目的。俊尚提供兩種類型的 RGA 供用戶選用,一般測漏或是殘氣分析等應用可選擇 Quadrupole 型的 RGA;若對於快速篩選、精確辨識有較高要求者,可考慮選用 Ion trap 型的 RGA。俊尚科技提供多款 RGA 供客戶選用,相關規格請參考以下資料。

SpecSRSMKS VQM
Mass Filter Type
  • Quadrupole
  • Autoresonant Ion Trap
Detector Type
  • Faraday Cup(FC)
  • Electron Multiplier(EM)
  • Electron Multiplier(EM)
Mass Range
  • 1 ~ 100 amu
  • 1 ~ 200 amu
  • 1 ~ 300 amu
  • 1 ~ 145 amu
  • 1 ~ 300 amu
Measurement Range
  • UHV ~ 1 x 10-4 Torr(FC)
  • UHV ~ 1 x 10-6 Torr(EM)
  • UHV ~ 1 x 10-5 Torr
Response Time
  • seconds
  • 1 ~ 145 amu @ 85ms
  • 1 ~ 300 amu @ 120ms