石英震盪式膜厚儀 QCM Thickness Monitor

colnatec


美國 Conltaec 專精石英震盪式膜厚監控器(Quartz Crystal Thickness Monitor)相關產品的開發,產品包含石英晶片、感測頭(sensor head)、膜厚監視 / 控制器一應俱全,可滿足客戶對於即時膜厚量測的所有需求。Colnatec 膜厚監視/控制器最大的特色在於可量測膜厚感測頭的溫度:用來量測頻率變化的石英晶片往往會在鍍膜製程中受熱,而 AT 型石英晶片在超過 25°C 後頻率的變化呈非線性,因此會造成量測上的誤差。Colnatec 的各款膜厚監視器或膜厚控制器可透過感測頭(Colnatec Phoenix / Tempe)所量測到的溫度來修正溫度對於石英震盪頻率的影響,因此可以得到為精確的即時薄膜沈積速率。Colnatec 各款膜厚監視器或膜厚控制器的相關資訊如下: