質流控制器 Mass Flow Controllers

Bronkhorst EL FLOW BROOKS 5850E MFC readout

質流控制器一般簡稱 MFC(Mass Flow Controller)。它是一種流量計與控制閥的精密機電組合,與一般流量計最大的差別在於它是利用熱感溫差、非接觸的方式測量氣體的質量流速,不同於一般量測體積流速的方法,能夠避免環境壓力與氣體體積的影響,因此非常適合用在需要動態地控制氣體流量的精密應用中,如:電漿清潔、電漿蝕刻、PECVD、濺鍍等。俊尚科技提供您各款質流控制器,產品資料請參考下列內容。

SpecRecommended Models
  • Command Input Voltage:
    • 0 ~ 5 Vdc
    • 15 ~ 24 Vdc
  • Performance: ±1%
  • Repeatability: 0.25% of rate
  • Pressure Sensitivity: 0.1% / bar typical N2
  • MFC
    • 5850E
    • EL-FLOW
  • MFC Readout
    • PC-510(1 channel)
    • PC-540(4 channel)