脈衝直流電源供應器 Pulsed DC Power Supply

pinn plused DC SPIK3 pulsed dc deposition

俊尚科技經銷多款知名廠牌的脈衝直流電源供應器。透過脈衝直流電源,可大幅改善傳統直流電漿在表面活化(activation)與金屬濺鍍應用上的缺點,並特別在磁控濺鍍的反應式鍍膜與偏壓的應用尤為突出。此類電源供應器多採固定脈衝電壓控制波形,能提供瞬間高電流、具備瞬間大能量輸出,可提昇濺鍍速率,改善薄膜密度。產品特色如下:

 

  • 製程易於調整:可最佳實驗參數,得到最佳鍍膜結果。
  • 獨特的電弧偵測設計:可辨識電弧的發生,並快速消除電弧,非常適合反應式濺鍍製程與偏壓的應用。
  • 遠端控制通訊介面:除了RS232埠外,更加入擴充功能強大的Profibus介面,適用於多樣化與自動化的製程控制。

SpecPinnacle Single OuputSPIK2000A10HSPIK2000A-20HSPIK2000A-40H
AC Input 200/208 or 400 or 480V 1phase,220V, 50/60Hz 1phase,220V, 50/60Hz 1phase,220V, 50/60Hz
DC Input Power (Average)  5kW 10kW 20kW 40kW
Max. DC Input Voltage 325 to 650V 1000V 1000V 1000V
Max. DC Input Current  15.4A 25A 50A 80A
Arc Suppression  < 5μs 2μs 2μs 2μs
Operation Frequency 5 to 350 kHz, variable ≦2kHz ≦2kHz ≦2kHz
Cooling Capability Air Air+Water Air+Water Air+Water
Water Rate  - ≧3.5L/min ≧3.5L/min ≧3.5L/min
Water Pressure  - ≧1.5kg/cm2 ≧1.5kg/cm2 ≧1.5kg/cm2
Water Temperature  - ≦25℃ ≦25℃ ≦25℃
Dimension (mm) 133 mm (H) x 483 mm (W) x 675 mm (D) 356 (H) x 440 (W) x 685 (D) 445 (H) x 440 (W) x 685 (D) 53445kg (H) x 440 (W) x 685 (D)
Weight  21.4kg 45kg 70kg 90kg
Interface RS-232, RS-422, RS-485
Profibus
DeviceNet

User(Interlock;PLC) RS232

BNC(External Trigger) Profibus(Optional)

User(Interlock;PLC) RS232

BNC(External Trigger) Profibus(Optional)

User(Interlock;PLC) RS232

BNC(External Trigger) Profibus(Optional)