微波電漿源 Microwave Plasma Source

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一般微波電漿的產生多使用915MHz或2.45GHz兩種頻率的微波電源,透過磁控管(Magnetron)產生微波源,並以導波管(Wave Guide)傳送特定震盪模式的微波,最後再透過石英視窗導入到真空腔體中產生電漿。傳統微波電漿系統的設計需優化均勻的氣體分佈及共振腔設計,才能產生大面積且均勻的高密度微波電漿。

新一代微波電漿源則採同軸電子迴旋(electron cyclotron resonance,ECR)設計,並搭配 solid-state 微波電源,可省卻掉傳統的磁控管及導波管,因此在硬體的架構更為精簡;此外,solid-state 微波電源可更精確地控制電源頻率,因此特別適用在需要穩定的精密製程中。近年來微波電漿技術廣泛用於薄膜沉積、表面科學、生醫及材料科學研究。俊尚提供下列各款微波電漿源供您選用: