分子束磊晶蒸發源 MBE K-Cell

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俊尚科技代理 SVT Associate 的各款分子束磊晶系統所使用的蒸發源(K-Cell,又可稱 Effusion Cell),可用來蒸發各種元素或化合物材料。K-Cell  均由高純度材料製成,且K-Cell 的加熱區域是由陶瓷和高熔點金屬組成,可以確保了在超高真空環境中不會出現釋氣現象,並確保蒸發源的使用壽命。K-Cell 另外具備與加熱體緊密貼合的坩堝,可以達到傳統蒸發源難以企及的穩定性和再現性;K-Cell 的坩堝形狀也經過優化設計,可有效增加材料利用率。這類蒸發源非常適用於 分子束磊晶 和一般物理氣相沉積系統,可具備良好的控制性能。

SVTA dopant SVTA low temperature SVTA hi temperature SVTA dual filament SVTA single filament
SpecDopantLow-TempHigh-TempDual Fila.Single Fila.
Temperature Range 0 °C – 1,400 °C 0 °C – 800 °C 0 °C – 1,800 °C
2,000 °C Optional
0 °C – 1,400 °C 0 °C – 1,400 °C
Power Requirement 600 W or 1kW 600 W or 1kW 1kW 600 W or 1kW 600 W or 1kW
Temperature Stability +/- 0.1 °C +/- 0.1 °C +/- 0.1 °C +/- 0.1 °C +/- 0.1 °C
Temperature Reproducibility +/- 0.1 °C +/- 0.1 °C +/- 0.1 °C +/- 0.1 °C +/- 0.1 °C
Crucible Size 6 ~ 16 cc

16 ~ 100 cc. 

10 cc Tapered
16 cc Tapered
16 ~ 150 cc. 16 ~ 150 cc.
Standard Length 12.0" 12.0" 12.0" 12.0" 12.0"
Mounting Flange 2.75" or 4.50" OD – CF 2.75" or 4.50" OD – CF 4.50" OD – CF 2.75", 4.50" or 6.0" OD – CF 2.75", 4.50" or 6.0" OD – CF

 

SVTA hot lip SVTA cold lip SVTA execl SVTA viking
SpecHot-LipCold-LipEXCELVIRKING
Temperature Range 0 °C – 1,400 °C
1,600 °C Optional
0 °C – 1,400 °C 0 °C – 1,400 °C 0 °C – 1,400 °C
Power Requirement 600 W or 1kW 600 W or 1kW 600 W or 1kW 600 W or 1kW
Temperature Stability +/- 0.1 °C +/- 0.1 °C +/- 0.1 °C +/- 0.1 °C
Temperature Reproducibility 0.1 °C +/- 0.1 °C +/- 0.1 °C +/- 0.1 °C
Crucible Size 16 ~ 85cc. 16 ~ 85cc. 16 ~ 150cc. 20 ~ 120cc
Standard Length 12" 12" 12" 12"
Mounting Flange 2.75", 4.50" or 6.0" OD – CF 2.75", 4.50" or 6.0" OD – CF 2.75", 4.50" or 6.0" OD – CF 4.50" or larger CF Flange