電子束蒸鍍耗材 E-beam Crucible Liners

在電子束蒸鍍系統中使用坩堝內襯(liner)時,可以降低坩堝座的冷卻效果,間接提高材料的蒸鍍速率;同時也因為坩堝座的槽數有限,為避免不同材料在替換時交叉污染,使用坩堝內襯也是一種解決辦法。以下為坩堝內襯之樣式、材質介紹及相關規格。