膜厚量測耗材 Quartz Crystals for Thickness Measurement

colnatec

石英震盪式膜厚量測是相當普遍的即時膜厚量測技術,藉由了解石英震盪頻率在鍍膜過程中的衰變量,計算出沈積在石英晶片上的材料質量,進而推算出每秒的沈積速率。然而一般 AT-cut 石英震盪晶片對於溫度十分敏感,超過25°C後震盪頻率便呈非線性變化,對於要精確掌握膜厚成長的製程相當不適用;此外,石英晶片瞬間面對蒸發源的熱衝擊(thermal shock)現象,業界也需要相關技術解決方案。

Colnatec 深知蒸鍍製程中所使用的石英震盪晶片對於膜厚量測精確性的影響深遠,因此特別針對高溫 CVD (ALD)/ PVD 製程提出各式石英晶片產品,讓用戶能更精確地掌握製程當下即時最精確的膜厚成長狀態。Colnatec 各款石英震盪晶片產品選用說明如下: