新穎應用

除了 PVD 與 CVD 薄膜沈積設備外,俊尚也提供下列特殊設備讓客戶選用:

  • 微波電漿(microwave-assisted plasma):藉由高密度電漿清潔並改變材質表面特性,對於先進光電或半導體製程來說是相當關鍵的技術
  • 痕量物質萃取(trace material extraction):藉由微波自天然物或待分析物中萃取特定物質,對於化學合成、化學成分分析極為重要
  • 斜向蒸鍍(oblique / glancing angle deposition):成長出具備週期性排列的三維奈米薄膜,這類薄膜特殊的光電性質可開發各式感測器