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高效能電漿表面改質暨清洗系統

 

電漿表面改質系統特色:

  • 模組化設計
  • 操作簡易
  • 可精準控制氣體流量
  • 可顯示實際真空值
  • 配備 13.56MHz RF Power Supply
  • 可改裝為濺鍍源模組
外觀尺寸  W580×H560×D620±3mm PC-150
反應腔體尺寸 Ø150×H320×D265±3mm
反應腔體材料 SUS304
電漿區域 4 inch
T/S 距離 5cm 可自行調整,±2cm
氣體流量 氧氣 / 氬氣:0-100sccm
氣體流量監控 2 Channel
真空幫浦排氣 280L/min
閥門驅動方式 電動式,半自動
電源供應器 RF,13.56MHz,300W
 

 

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