真空量測技術


此處所謂的「真空量測技術」指的是用來量測「真空系統內部壓力」的技術。真空系統內的壓力就是真空腔體內壁單位面積上所承受氣體分子的力,亦即真空系統中殘餘氣體壓力的分布程度。一般在描述系統真空度方面,多以低真空(low / rough vacuum )、高真空(high vacuum,HV)及超高真空(ultra-high vacuum,UHV)來表示不同的系統真空狀態。進深入了解量測真空壓力的方法前,我們需要先知道不同真空度所對應的壓力單位讀值及其相對應的氣體分子運動模式: