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磁流體真空導入裝置

產品原理

 

磁流體密封裝置可簡稱為磁流體,軸封是由磁石、磁極片(Pole Piece)與可導磁的傳動軸形成磁力迴路,將磁液置於Pole Piece與傳動軸的間隙,受磁力迴路的拘束,可形成阻絕大氣進入真空腔體的環型屏障。與傳統O-ring不同,磁流體利用「磁液」作為軸封材料,對傳動軸不會產生摩擦,有「液態O-ring」。

 
「磁液」又可稱磁性流體,是由粒徑10nm的奈米磁粉、界面活性分子與基礎載液所組成。磁粉平均分散基礎載液中,此泥膠狀磁液不會因重力而沈澱,也不會因磁場靠近而凝聚或濃厚不均勻。
 

當磁液受到外加磁場的影響,會沿著磁力線分佈形成各種形狀。若在具有磁場的微小間隙中置入磁性流體,將形成一堵隔絕兩側環境屏障,因此應用於真空軸封技術中,具備阻絕大氣的優點,而分散於基礎載液中粒徑極細的磁粉幾乎對軸承沒有摩擦力,因此磁流體軸封亦具備有效減少摩擦耗損與低產熱之優點。

 

magnetic feedthrough   magnetic fluid-01

產品應用
 

 適用於真空環境下之傳動與旋轉,如濺鍍機、蝕刻機、擴散爐、離子注入機...等等。

 magnetic feedthrough-app01 magnetic feedthrough-app02

 

 

 

 

 

 

 

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