俊尚科技股份有限公司

RF射頻電源供應器

任何需要使用電漿(Plasma)做製程處理的應用場合中,好的RF射頻電源供應器將能提供更穩定、電能轉換效率更高、更不受外界干擾影響的工作電漿。俊尚科技提供您各知名廠牌之RF電源供應器,從小瓦數到工業級10KW以上之電源供應器皆有提供,歡迎與我們洽詢。下列是部分款式的簡易規格:

 


300W 

 

外觀 規格

Sairem RF 電源供應器外觀
Power Output 300 Watts
Frquency 13.56 MHz
Forward Power Metering +/- 1% Full Scale, +/- 1% Reading
Output Power Stability +/- 0.5% Long Term, +/- 1 Watt
備註 另有其他款式,歡迎您與我們洽詢!

   


 600W

 

外觀 規格

Stolber RF 電源供應器外觀
Power Output 600 Watts
Frquency 13.56 MHz
RF power regulation mode P forward, P delivered or DC selfbias voltage
Regulation 1.0% of setpoint or 0.1% of full rated power
備註 另有其他款式,歡迎您與我們洽詢!

 


1kW 

 

外觀 規格

AE RF 電源供應器外觀
Power Output 1000 Watts
Frquency 2.0 MHz
Phase Synchronization

Standard

Multiple Protection Standard 
備註 另有其他款式,歡迎您與我們洽詢!