俊尚科技股份有限公司

微波電源供應器

 
SAIREM 法國總部SAIREM在法國成立於1978年,這30多年來的努力,已在微波應用領域佔有相當的領先地位,產品銷售遍佈全球50個國家。

 

微波電漿技術被廣泛用於薄膜沉積、表面科學、生醫及材料科學研究;微波電漿的產生多使用915MHz或2.45GHz兩種頻率的微波電源,透過磁控管(Magnetron)產生微波源,導波管(Wave Guide)傳送特定震盪模式的微波,再透過石英視窗,於真空腔體產生電漿區,均勻的氣體分佈及共振腔設計,有助於產生大面積的高密度微波電漿。

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