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MBE專用分子束發射源

SVTA 分子束發射室  SVTA 分子束發射室

分子束發射室(effusion cell,亦稱kundsen cell),是分子束磊晶技術中用來盛裝晶體成長所需要的材料,設計上每組發射室都應該要有獨立的電熱偶(thermocouple)、射束擋板(shutter)、水冷系統(water cooling system)、電阻加熱用的钽絲(Ta heating filaments)、熱遮蔽(heat shields)等機構。為了確保高分子束發射效率並讓分子束能均勻到達基板,發射室中用來裝盛材料的坩鍋必須要升降溫均勻穩定且快速、熱輻射功率損耗率低,而且不會跟所裝盛的材料發生反應,因此坩鍋材料大多為熱解氮化硼(PNB)所製成,此外坩鍋外型之設計也對材料耗用量有極大之影響。

 

俊尚科技提供各款高精密之分子束磊晶專用發射源,除了滿足上述各項設計之要求,提昇發射室之最大效用外,在產品運送前都經過徹底的測試和外表形狀確認,排除任何製程過程中所造成的瑕疵,此外所有蒸發源皆可與超高真空環境相容,且可以烘烤到200°C。以下為分子束發射源選用須知:

 

分子束發射室選用須知

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