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冷凍真空幫浦

產品原理 / 應用

 

冷凍真空幫浦是利用超低溫的物理機制來吸附真空腔體內的氣體以達到抽氣的效果,其抽氣機制分為:超低溫冷凝(Cryocondensation)、超低溫吸附(Cryosorption)及超低溫捕獲(cryotrapping)等三種方式。

 

超低溫冷凝機制    超低溫吸附機制     低溫捕獲機制

超低溫冷凝是利用極低溫的表面將入射的氣體分子冷凝下來,並利用極小的蒸氣壓力以保持高真空的特性;超低溫吸附是對於一些不易被低溫冷凝下來的氣體(Non-Condensible Gas),如:氦、氖、氫等,利用多孔性物質使這些氣體進入後降低其動能,最後因為動能的喪失而停留在多孔性物質的內部,進而達到抽氣效果;超低溫捕獲是利用較易低溫冷凝的氣體(如:氬氣)來吸附其他不易冷凝的氣體(如:氫氣),由於冷凝之氬分子具多孔性,使得氫分子容易被吸附而減低其蒸氣壓。冷凍真空幫浦的抽氣機制中以低溫冷凝及低溫吸附為主要的抽氣方式。

 

真空技術已廣泛應用在高科技產業中,如:半導體、平面顯示器、光電、薄膜、低溫冷凍、太陽能、材料冶金、生物科技及微奈米技術等等,這些產業若有高真空鍍與對真空系統的潔淨度非常高,因此冷凍幫浦絕對會是不可或缺的重要設備,此外再加上冷凍幫浦具有抽氣速率快、可安裝在腔體任意位置上的優點,可應用領域更為廣泛。俊尚科技提供您下列各類冷凍真空幫浦:

 

On-Board CryoCryo-Torr CryopumpCryo-Torr 20HP High Performance Cryopump

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