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分子渦輪幫浦

對於需要高真空或超高真空之應用領域,諸如:表面分析、質譜分析、電子顯微鏡、高能物理或任何需要乾淨製程環境的工業製程場合,分子渦輪幫浦與冷凍真空幫浦可說是最佳之選擇,但分子渦輪幫浦擁有冷凍真空幫浦所沒有的優點:無需再生(regeneration),可連續使用。這是因為分子渦輪幫浦是利用高速機械性移動將動量傳遞給真空系統內之殘餘氣體分子,使氣體分子獲得額外動量朝特定方向移動、壓縮、排出系統(如下圖所示),因此支撐高速機械機構轉動之軸承、葉片結構(影響氣體壓縮比)是在考量分子渦輪幫浦時需要考量的重點。若製程中需使用腐蝕性氣體,亦需特別注意這些製程氣體對葉片之影響。

分子渦輪幫浦運作示意圖

俊尚科技提供您各款抽氣效率高、軸承穩定性佳、葉片經特殊處理之分子渦輪幫浦,並提供您專業之幫浦維修、保養服務,讓您可專心於實驗或製程上。

  

抽氣量<300L   排氣量300-500L

排氣量500-1000L

排氣量>1000L

 

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