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乾式真空幫浦

Scroll Pump 運作示意圖工作壓力範圍約莫介於大氣到10-4 Torr,由於運作機制沒有使用到油,因此使用上不需要擔心有油氣回流或是抽除之氣體會與幫浦由產生微粒,所以非常適用於重視微粒排除及真空系統潔淨度的應用上。窩卷式幫浦透過轉子運動所掃過的行程進氣、壓縮與排氣之一系列動作,運作示意圖如右:

    

俊尚科技提供您各式窩卷式幫浦,滿足您乾淨真空製程環境的需求。各式窩卷式幫浦規格,請詳下表;若您有任何需求,歡迎來電與我們洽詢!

 

型號 / 外觀 排氣量 N2 (L / min) 終極壓力 抽氣端法藍

SH110

SH110

110

5.0x 10E-2

NW25

TriScroll 300

TriScroll300

250 1.0 x 10E-2 NW25

TriScroll 600

TriScroll600

500

7.0 x 10E-3

NW40

XDS46i

XDS46i

666

3.75 x 10E-2

NW40