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3維奈米結構薄膜斜向蒸鍍系統 Featured

GLAD(Glancing Angle Deposition)是一種藉由調整基板旋轉與週期性角度變化來生長特殊形貌奈米微結構的薄膜技術(例如:斜向圓柱狀、鉅齒狀、螺旋狀或多向性堆疊等等),透過這樣的技術,可在不改變薄膜材料組成的條件下,探索藉由改變薄膜結構,讓元件在磁性、光學及機械等物理特性產生改變的效果。從基礎研究角度觀之,這是一個值得投入的領域,期許能有更多新穎之材料特性被開發應用。

 GLAD 運作示意圖 透過GLAD所得到的奈米微結構SEM圖

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