俊尚科技股份有限公司

質流控制器(MFC)

質流控制器(Mass Flow Con-troller)一般簡稱MFC。它是一種流量計與控制閥組的精密機電組合,與一般流量計最大的差別在於它是利用熱感溫差、非接觸的方式測量氣體的質量流速,不同於一般測量體積流速的方法,所以能夠避免環境壓力與氣體體積的影響,非常適合用在動態的氣體流量控制上。俊尚科技提供您各款日立金屬(Hitachi Metals) 之直流控制器,完美支援您各式需要精密調控氣體流量之應用場域。

5850E 

5050E 系列特色

 

  • 保養清潔容易
  • 訊號反應速度快(1秒)
  • 流量使用範圍廣:最大可達3slpm
  • 可卸式流量感測器
  • 不易受外在環境干擾而影響流量準確率

 

5850E 系列規格

 

Flow Ranges

Any range from zero to 3slpm Nitrogen equivalent.

Performance

Accuracy: ±1% full scale including linearity at calibrated conditions. ±1.5% full scale for flow rates greater than 20 slpm.

Repeatability

0.25% of rate

Sensitivity to Mounting Attitude

±0.5% F.S. maximum deviation from specified accuracy after rezeroing.

Temperature Sensitivity

Zero: Less than ±0.075% F.S. per degree C

Span: Less than ±1.0% F.S. shift from original calibration

over 10-50°C range

Pressure Sensitivity

±0.03% per psi up to 200 psig (N2)

Command Input Voltage

0 to 5 Vdc (200 K ohms input resistance)

Output Signals

0 to 5 Vdc into 2000 ohms (or greater) load

Leak Integrity

1 x 10-10 atmosphere cc/sec. Helium

 

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