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CIGS太陽能電池研發蒸鍍系統

 CIGS-2000R 系統特色:CIGS-2000R 外觀

 

  • 溫度控制成膜
  • 蒸鍍速率穩定
  • 全自動排氣控制
  • 搭配美國SVTA蒸鍍源
  • 使用EIES 監控各別材料鍍率
  • 更換材料容易
  • 維修保養容易

 

 

CIGS-2000R 系統規格:


項目 敘述
系統構成 系統包含高真空蒸鍍腔體、高真空傳遞腔體、基板、抽氣系統與操作控制系統五大部份所組成。
基板機構
  1. 一次可承載1片 100mm X 100mm的玻璃基板或 4片 25mm X 25mm的玻璃基板
  2. 基板載具可連續旋轉及定位 , 轉速調整範圍 5~30 rpm
  3. 載具包含基板加熱裝置 , 可加熱達600℃
  4. 載具必須可承受600℃以上而不變形材質
蒸發源系統
  1. 4組美國SVTA蒸發源
  2. 可透過控制系統程式化或任意選擇
  3. 防污染機構設計
  4. 獨立的蒸發源與遮罩控制,減少保養與汙染
  5. 精確的溫度控制
操作與控制系統
  1. 10吋LCD人機觸控面板
  2. 各系統程式化控制與運算整合
  3. 操作安全警示系統與自動內部鎖定功能