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高效薄膜封裝電漿輔助化學氣相沈積系統

COPRA Cube 系統外觀俊尚科技提供您專業的PECVD系統COPRA Cube,此系統是專為學術或業界研究從事PECVD所開發的技術解決方案,除了可搭配各款高能量傳輸效率、高穩定的電漿源外,也可搭載諸如原子發射光譜儀或質譜儀等分析儀器,讓樣品製備結合成分分析,進一步提昇研究品質。此外,系統採彈性設計,因此系統真空腔體的四面外牆可完全依照客戶實驗或製程的需求來自由調整,讓系統的設置更加便利。點此知原理!

 

 

COPRA Cube 系統規格:


Internal Dimension  420 x 420x 420mm
Door Opening  330 x 330 mm
Chamber  stainless steel 1.4301
Base Pressure  below 1E-6 mbar
Leadkage Rate  below 1E-9 mbar l / s
Design
  • 2 fixed side walls with 1x DN250 ISO-K and 4x DN40 ISO-K
  • 3 x removable side walls
  • 1 x door