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低真空用真空計

不同的製程需求,需要用到不同的真空度,如何選擇正確的真空計是最基本、但亟具重要性的工作。在低真空領域的應用,部分製程需要較低的真空度,例如:蝕刻或CVD等製程應用,除了要能正確判讀出系統真空度、確保製程品質外,另外不同真空計也特別針對特別製程有特別的設計(例如:耐腐蝕性製程氣體)。在此針對分子熱導式真空計做介紹:

 

這類真空計式利用氣體與壓力相關的熱導性來做真空壓力的間接測量。在低真空狀態下,由於氣體分子密度高、氣體分子平均自由徑很小,氣體分子對發熱物體間有著良好的熱傳導關係。以派藍尼真空計(Pirani Gauge)為例,是讓燈絲維持一定溫度(亦即維持一定的電流或電壓),若系統真空度變高,代表有越多的氣體分子與燈絲做碰撞帶走燈絲上的熱,因此造成燈絲溫度下降、電阻上升,透過量測電壓與電流的變化即可量測真空壓力的變化。

 
派藍尼式真空計構造與原理

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