俊尚科技股份有限公司

膜厚監控計

真空鍍膜技術已廣泛用於各類產品之中,產品設計越趨輕薄,對於鍍膜精準度(厚度、均整度、深寬比等)的要求也越趨嚴苛,而對於鍍膜各項精確度的要求,亦需要搭配不同的監測設備來進行監測。在膜厚監測方面,俊尚科技提供精確的石英膜厚監控器(Quartz Crystal Thickness Monitor),提昇薄膜製備過程中相關參數的準確度與可再現性。

 

 一、控制器規格

STM-100 / MF STM-100/MF
  • 多工顯示:膜厚/鍍率、石英感測頻率、蝕刻速率
  • 鍍率解析度:0.1 A/S ; 4 measurement per second
  • 4組 I/O 控制介面
  • RS232 數位介面
 STM-2XM STM-2XM
  • 可獨立監視兩支Sensor
  • 鍍率解析度:0.01 A/S ; 10 measurement per second
  • 8組 I/O 控制介面
  • Analog訊號介面
 SQM-160 SQM-160
  • 標準搭配 2支石英感測頭,最多可擴充至4支
  • 具RS-232介面,可選配USB、Ethernet介面
  • 4組relay output & 2組Input
 STM-2 STM-2
  • 含標準Window介面操作軟體,透過USB介面將膜厚數據呈現於電腦上
  • 解析度:0.02Hz at 10 reading/second
  • 外部有訊號燈指示
 STM-3 STM-3
  • 透過USB介面將膜厚數據呈現於電腦上
  • 最多可擴充至8組膜厚顯示
  • 多種訊號介面:MODBUS® (ASCII/RTU), and SMDP – USB or Serial (RS232/485)
 stc-2000a

STC-2000A

  • 液晶顯示結合觸控式操作介面.
  • 可儲存50組材料及9組製程參數
  • 8組可編輯式I/O控制介面,可擴充至16組

 

二、相關組件及耗材

垂直型感測頭

垂直型感測頭

標準型感測頭

標準型感測頭

雙晶片型感測頭 

雙晶片型感測頭

 1” Bolt 真空導入端子

1" Bolt 真空導入端子

CF35 真空導入端子

CF35 真空導入端子

 

 

三、石英震盪片規格

石英震盪晶片材質 對應料號 說明 
6MHz,鍍金 QI-8010 / 934000 黃金是普遍認同的電極材料,它具有較低的接觸電阻、高度的化學穩定性和良好的沈積性能;黃金晶體的典型應用是黃金、銀、銅或鋁的低應力金屬沈積。 
5MHz,鍍金 QS-3952 / 935000
6MHz,鍍合金 QI-8008 合金,含鋁銀成分,是適用於電介質材料沈積的最佳電極,其中包括:一氧化矽、二氧化矽、氟化鎂和二氧化鈦。
6MHz,鍍銀 QI-8009 銀是一種用途廣泛的優良電極材料。銀具有較低的接觸電阻,並顯示一定程度的塑性屈服。適用於高應力材料沉積如鎳、鉻、鉬、鋯、鎳鉻合金、鈦以及鉻鎳鐵合金。