俊尚科技股份有限公司

真空相關零組件

量測設備

 

  • 真空量測
  •  質流控制器
低真空計 高真空 & 超高真空用真空計 全領域用真空計 質流控制器
低真空用真空計 高真空 & 超高真空用真空計 全領域用真空計 質流控制器 

 

  •  氦氣測漏儀
  • 膜厚監控設備 
 
  • 電漿發射光譜監控儀
氦氣測漏儀 一般應用膜厚監控器 高溫及高精度應用膜厚監控器 1363678454
 氦氣測漏儀  一般應用 高溫及高精度應用  監控反應式鍍膜參數
 
製程組件

 

  • 鍍膜組件
濺鍍鎗  電子鎗 電漿源 分子束發射室 
濺鍍鎗  電子鎗 電漿源 分子束發射室

 

  • 電源供應器
DC 電源供應器 RF 射頻電源供應器 Microwave 電源供應器 Pulsed DC 電源供應器
DC 電源控制器 RF 射頻電源供應器  Microwave 電源供應器   Pulsed DC 電源供應器
  • 真空抽氣裝置
迴旋機械幫浦 乾式真空幫浦 冷凍真空幫浦 分子渦輪幫浦
迴旋機械幫浦 乾式真空幫浦 冷凍真空幫浦 分子渦輪幫浦

 

 

 

  • 真空端子 / 管路導入
  •  真空傳輸 / 旋轉機構
  •  管路 / 系統密封機構 
分子渦輪幫浦 真空端子 / 導入 真空傳輸 / 旋轉機構 管路 / 系統密封機構
離子真空幫浦  真空端子 / 管路導入 磁流體真空傳輸 / 旋轉機構 真空閥門