俊尚科技股份有限公司

真空鍍膜系統

 

研究開發型

 

  • CVD系統 
高效薄膜封裝電漿輔助化學氣相沈積系統 鑽石膜成長微波電漿化學氣相沈積系統 高效薄膜封裝電漿輔助化學氣相沈積系統

應用:薄膜封裝

脈衝型化學氣相沈積系統

應用:鑽石膜 / 類鑽膜成長

微波電漿輔助化學氣相沈積系統

應用:SiNx、SiOx薄膜封裝

電漿輔助化學氣相沈積系統

 

  • PVD系統 
有機EL材料暨結構驗證蒸度系統 OLED-Cluster-01 EBS-500-3D  薄膜性太陽能電池研發蒸鍍系統

應用:OLED/OPV 材料暨結構驗證

熱組式蒸鍍系統

應用:OLED/OPV元件製作

枚葉式熱阻蒸鍍系統

應用:3維奈米結構薄膜

電子束斜向蒸鍍系統

應用:CIGS薄膜行太陽能電池研發

熱阻式四源共蒸鍍系統 

MGS-300 EBS-500  高功率晶體電子束蒸鍍系統  硬化膜研發高功率脈衝磁控濺鍍系統

應用:CIGS薄膜型太陽能電池研發

四源共濺鍍系統

應用:精密光學元件研發製作

電子束蒸鍍系統

 應用:化鎵晶體Lift-off製程

電子束蒸鍍系統

應用:硬化膜研發

高功率脈衝磁控濺鍍系統

 III-V II-VI族材料分子束磊晶系統 微機電-磁性材料脈衝雷射蒸鍍系統

應用:III-V II-VI族材料研發

分子束磊晶系統

應用:微機電-磁性材料研發

脈衝雷射蒸鍍系統

 

 

工業量產型

 

  • CVD系統
  • PVD系統
鑽石膜成長微波電漿化學氣相沈積系統  高功率晶體電子束蒸鍍系統
鑽石膜成長微波電漿化學氣相沈積系統  砷化鎵晶體電子束蒸鍍系統

 

其他真空相關設備

 

  • 電漿表面改質系統
  •  桌上型電漿系統
PC-150 YOUTEC-Desktop Plasma
電漿表面改質系統  改質、蝕刻、灰化、清潔、鍍膜