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真空基礎知識

負壓偵測法

對於許多現代科技領域而言,真空是最基礎同時也是最核心的關鍵技術,如何創造並維持一個好的真空製程環境是可說是基礎中的基礎。好的真空系統從某個角度來說就是一個不會漏氣(或更精確的說,漏氣量在可允許之程度)的密閉系統,而當系統真空發生異常時,如何找出系統漏氣點便是非常重要的工作。


膜厚監控系統架構

真空鍍膜技術已廣泛用於各類產品之中,產品設計越趨輕薄,對於鍍膜精準度(厚度、均整度、深寬比等)的要求也越趨嚴苛,而對於鍍膜各項精確度的要求,亦需要搭配不同的監測設備來進行監測。

食品的真空包裝

這麼多的領域都用到真空,那麼我們究竟是怎樣創造出真空的狀態呢?如同在前文「真空技術:真空的測量」中所提到,不同壓力下氣體分子運動的方式也不同,因此需要搭配適當的抽氣技術才能達成應用上的目標。以下會先針對不同的抽氣方式進行分類,然後針對如何選擇正確的抽氣幫浦做原則性的說明,最後再逐一針對這些不同的抽氣技術來做介紹。

派藍尼式真空計剖面

透過回顧歷史,我們知道17世紀義大利實驗家托里切利的汞柱實驗,無疑是人類歷史上第一次揭露真空以及大氣壓力的存在。說托里切利開了一扇門並不為過,眾人從那之後便開始探索這扇門後的新物理領域,而如何達成真空以及如何去量測真空,自然成為技術上要解決的問題,本文將探討如何量測真空的各項技術。而在開始了解各項真空量測技術前,我們會先對真空度以及不同真空度下的氣體運動方式做些簡單的介紹。